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RTS-3型手持式四探針測試儀
RTS-3型手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
RTS-3型手持式四探針測試儀采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺(tái)使用。
RTS-3型手持式四探針測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
測量范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式設(shè)計(jì)；
體積僅為：185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)； 重量：350g；
使用鋰電池供電，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；
RTS-3型手持式四探針測試儀就是參數(shù)
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測量范圍 |
電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； |
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恒流源 |
電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào) |
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數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV； |
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四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%； |
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù) |
(見探頭附帶的合格證) |
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模擬電阻測量相對誤差 |
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
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整機(jī)測量*大相對誤差 |
(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
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整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 |
≤5% |
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外型尺寸 |
185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高) |
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重量 |
350g |
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電源 |
鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)； |
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射； |